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钢瓶气体种类:_____________________更换钢瓶号:______________________
发令人受令人发令时间年月日时分
操作开始时间:年月日时分操作结束时间:年月日时分
操作任务:
更换序列序号操作项目起止时间操作人员复核人员异常情况
2对已下线钢瓶张贴“钢瓶已下线,正在更换”的标识牌
关闭已下线钢瓶的钢瓶阀门(硅烷钢瓶:先关闭钢瓶锁,
再拔出气动阀)
4关闭已下线特气供应管路的对应的手动隔离阀MIV
5审核特气辅助气体审核表,确认无误后,执行吹扫程序
6点击主界面未登录按钮,输入登陆密码,返回主界面
7点击主界面(L)左面板/(R)右面板进入“下线钢瓶”菜单
8点击吹扫进入吹到主界面
9点击钢瓶吹扫进入钢瓶吹扫操作界面
10再次确认下线钢瓶瓶口阀门已关闭
11点击开始开始钢瓶第一次吹扫(稀释管道内有特气)
12负压保压
13第二次吹扫(吹净管道内有毒气体)
14确认第二次吹扫已完成
15进入预备更换钢瓶阶段
再次确认“钢瓶已下线,正在更换”标识牌,与下线钢瓶
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是否相符
17穿戴好PPE(护目镜、防护服、防护手套)
18检查扭力扳手是否正常
19点击开始按钮
使用扭力扳手拆卸钢瓶接头(硅烷钢瓶还要将钢瓶锁上的
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)
21取下钢瓶瓶口接头内DISS720垫片
用丝堵将pigtail入口堵上(如果没有丝堵,这一步可以
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跳过)
23将下线钢瓶瓶口帽拧紧
24将下线钢瓶钢瓶帽拧紧
25由监护人填写“空钢瓶拆装表”,并张贴至下线钢瓶处
26将空钢瓶存放至指定地点
检查新钢瓶是否张贴”特种气体审核表”,并复核审核表内容
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是否与该钢瓶上的标签参数相符
检查新钢瓶瓶口密封是否完好(正常情况下钢瓶口用塑料膜密
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封),检查瓶口接口是否与规定值一致
安装DISS720垫片,首先使用手对瓶口与管道口对接保证丝扣
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,无明显阻力
30使用扭力扳手紧固钢瓶接头,待扭力扳手发生扭转时,再用活
扳手紧固1/8圈
31检查钢瓶接口紧固牢靠
退出吹扫界面,进入参数设置2,调整新钢瓶重量(更换NH
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时)
33重新进入吹扫界面,点击完成,进入第三次吹扫操作界面
34点击开始开始钢瓶第三次吹扫(吹净管道内杂质气体)
(确认钢瓶口处已拧紧)
36第四次吹扫(吹净管道内杂质气体)
37吹扫完毕进入送气程序界面
38按照界面提示完成送气程序
39按照GT3界面提示登入GT3操作系统
40确认吹扫完成点击吹扫完成对应的操作面板
41点击吹扫完成操作面板的吹扫按钮
氨气钢瓶:按提示缓慢打开钢瓶阀,开度调至最大后向回倒转
半圈,检查无误后,单击确认
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硅烷钢瓶:先安装气动接头,再打开钢瓶锁,最后将气动阀插
43检查已更换侧GT3内HPT压力与LPT压力是否在正常范围值以内
44检查无误后,点击送气按钮
45检查钢瓶接口、HPT、LPT压力值是否正常
46缓慢打开已处于热备用状态侧的对应手动隔离阀MIV
47张贴“热备用钢瓶安装表”
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其他补充操作
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备注:
注:①填写操作票应清楚整齐,使用签字笔填写,更改处需签名
②异常情况一栏必须如实填写,没有异常情况此项可以不填
③如果没有其他补充操作,则此项可以不填
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