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更新时间:2012-7-1317:38:32
“MO源”即高纯金属有机化合物,或叫化合物半导体微结构材料,是先
进的金属有机化学气相沉积(简称MOCVD)、金属有机分子束外延(简称
MOMBE)等技术生长半导体微结构材料的支撑材料,其优异的电学、光学和磁
学等性能,可将半导体和集成电路推向更高的频率、更快的速度、更低的噪音和
更大的功率。半导体微结构材料技术的发展状况是衡量一个的重要标志。在我国MO源已被大量用于LED、太阳能电池、航空航天
技术等多个领域,是一项高新材料生产技术。目前,全世界能掌握MO源生产
技术的生产企业只有四家,其中三家在美国,一家在中国。
南京大学是目前我国MO源研究和研制的主要基地,先后承担了“七五”、
“八五”、“九五”、“十五”期间国家“863”高技术发展计划项目、“七五”、
“八五”国家重点科技项目等多项MO源的研究任务。先后建成了多个MO源
专用实验室,包括用于超纯纯化、超净样品处理、超净清洗、产品灌装及超纯分
析等的超净室;自行设计和监制了MO源合成和纯化专用设备——无氧无水惰性
气氛操作箱;设计并监制了性能优越的高纯MO源封装容器。
南京大学的MO源从产品的合成工艺、纯化技术、测试方法到封装容器,
在,现已研制开发出了20多种国内迫
切需要的MO源品种,%—%,是“国家863
新材料MO源研究开发中心”。
附:主要MO源品种
名称分子式缩写纯度(%)
三甲基镓(CH3)
三乙基镓(C2H5)
三甲基铟(CH3)
三乙基铟(C2H5)
二甲基乙基铟(CH3)
溶液三甲基铟(CH3)
三甲基铝(CH3)
三乙基铝(C2H5)
二甲基乙基胺配铝烷AlH3·(NMe2Et)
二茂镁(C5H5)
二甲基二茂镁(CH3C5H4)2Mg(MCp)
溶液二甲基二茂镁(CH3C5H4)2Mg(MCp)
二甲基锌(CH3)
二乙基锌(C2H5)
二甲基镉(CH3)
三甲基锑(CH3)
二乙基碲(C2H5)
二异丙基碲[(CH3)2CH]


1,1-二甲基肼(CH3)