FFU安装使用维护说明书.doc

FFU安装使用维护说明书
ffu使用说明
请详细阅读本说明书,并妥善保存,以备日后维护时参考。目录
概述
1-1风机过滤器单元
1-2结构及特点
重要安全事项
2-1安装使用环境
2-2运送与安装
2-3安装?使用注意事项
使用说明
3-1运转前点检事项
3-2运转时注意事项
维护说明
4-1日常维护
4-2定期维护
4-3故障排除
1-1风机过滤器单元
风机过滤器单元(FFU)是一种自带动力、具有过滤功效的模块化的末端送风装置。风机从FFU顶部将空气吸入并经HEPA过滤,过滤后的洁净空气在整个出风面以
±20%的风速均匀送出。广泛用于半导体、液晶制造业、电子、。 FFU使用环境:
>>周围温度:5℃~40℃
>>湿度:低于85%RH(没有湿气凝结状态下)
>>周围空气:一般室内空气
>>清净度:100-10级
>>请避免连续反复ON/OFF操作机体
如果在未符合上述条件的环境下使用风机滤网机组,将会影响制品性能,并可能会发生电气短路现象,造成电气部件损坏,缩短制品使用寿命。
为能安全且有效地使用风机过滤器单元请参阅的〝重要安全事项〞。
1-2结构及特点
(1) FFU主要部件
(2) 表1. 部件明称及功能(参考图1)
>>风机过滤器单元的安装应远离加热器、火炉或其它热源。
>>设置风机过滤器单元场所不可放置易燃物,以免发生火灾。
>>请勿在机体附近使用具爆炸性或挥发性的化学物品,如果机体吸入这些化学物品将有可能会导致火灾或爆炸等事故发生。
>>请勿于机体附近使用含硫酸、盐酸、漂白剂及其它具腐蚀性化学药品,如果使用这些化学药品将有可能会导致机体腐蚀及损坏。
2-2FFU运送与安装
>>请在风机过滤器单元包装完好的状态下搬运制品,搬运时务必保持水平,如果使用轻便推车等工具运送时,请选用车台超过机体包装宽度的推车。
>>机体安装后,机体上方至少须预留30公分以上的空间,以利将来机体维修,未预留足够的维修空间,机体将无法进行维修及部件更换。
>>试运转前,请先拆除吸入口上及均流板下附着的保护膜。
>>风机过滤器单元安装于无尘室时,请务必遵守下列指示
>>当进入无尘室时
请穿着防尘衣以免携带灰尘进入室内。
请以酒精清理工具以免携带灰尘进入室内。
请以酒精清理衣柜未保护处以免携带灰尘进入室内。
点检时请使用防尘纸及原子笔作记录以免再产生灰尘。
>>切勿直接重压风机过滤器单元机体,以免造成机体变形。
>>请勿以沾湿的手操作机体,以免发生触电危险。
>>请勿遮蔽机体吸入口及吹出口,机体吸入口及吹出口被遮蔽,将导致机体性能无法正常发挥,造成机体功能异常或电气部件损坏。
>>实施第三种接地工事,以避免电击产生之危险。
3-1运转前检查事项
运转前请先检查下列注意事项:
>>机体外部电源是否连接,电源供应是否妥当。