准备工作:(1)切衬底
(2)洗衬底(确保打磨的那一面朝下,先用丙酮超声清洗以去除各种有机物,再用酒精超声清洗以去除丙酮,最后用去离子水超声清洗去除酒精,用镊子将衬底垂直液面取出使其布上均匀水膜)
(3)用N2吹干(衬底从水中取出后应在衬底未干时用N2吹干,方法是将衬底倾斜一定角度,并用少量气流从上到下将衬底吹干)
(4)将衬底固定到托盘上,放入进样室(保证银胶中无大气泡)
操作阶段:(1)打开进样室和生长室的阀门,使两腔相通
(2)检查并关闭分子泵和离子泵的挡板阀
(3)打开机械泵和进样室相连管道的阀门
(4)启动机械泵和旁抽阀
(5)待管道(机械泵和进样室相连的管道)气压(此时实际也为进样室的气压)降为13Pa时,关闭机械泵和进样室相连管道的阀门
(6)开启分子泵,打开分子泵的挡板阀
(7)待分子泵转速达600,并查看压强方可离开
(8)打开离子泵挡板阀,待分子泵把生长室气压降至5×10-4Pa以下,开启离子泵
(9)待腔室气压降至10-5以下,关闭离子泵挡板阀,开始传样
(10)传样完成后,打开样品和靶的电源,按下加热键,打开外部电源,进行加热,打开电脑中的控制软件
(11)每隔半小时查看压强大小和衬底是否脱落
(12)当腔室真空度不够时,打开离子泵的挡板阀,进一步抽真空,抽好后关闭离子泵挡板阀
(13)当将衬底加热至所需生长温度后,立即开始准备生长(防止过多杂质附到衬底上)
(14)打开激光器的电源,预热20分钟,按启动键,在听到两次响声并等到指针回到零后,将电压调至24kV左右
补:测激光的能量(打开仪器,选择200量程,将探测器罩住激光器窗口)
(15)将靶调至所需靶位先按“靶位5“,再按”靶位0“,灯光自动跳动),打开靶自转和扫描电机,将晶振传送至探测位置
(16) 调整光路,使激光聚焦于靶(确认用挡板把衬底盖上,关闭所有窗口的挡板,防止靶材在窗口沉积),薄膜生长速率(晶振旋至12读数位置并将样品旋至第二刻度线处:传样位)
(17)移出晶振,将衬底调至生长位置(第一刻度线位置),把衬底的挡板移开,打开软件上的样品架自转
(18)根据生长速率、所需薄膜厚度及所用激光脉冲频率确定激光脉冲个数,在软件中输入激光脉冲频率和脉冲个数,按下启动开始打激光,检查压强和电压正常后方可离开,每隔半小时检查一
次电压、压强和样品
(19)待生长完成后(按计划生长的时间提前一两分钟关闭,否则容易自动关闭,难启动)?,关闭激光器:按高压“关闭”,按“手动”,按“手动触发”,按“降压”至电压示数为零,旋转钥匙
关闭靶自转和扫描电机,在软件上停止样品转动和加热,在仪表上停止样品加热,关闭样品和靶的仪表电源
(20)充气,取样品
附件(一):激光器换气
(1)打开气压示数计和机械泵,打开混气室与机械泵的
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