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光学薄膜工艺基础知识培训2009-7-11_精品.ppt


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光学薄膜 工艺参数与影响因素
2017/11/12
嘉兴蓝特光学有限公司



2017/11/12
嘉兴蓝特光学有限公司
光学薄膜工艺因素
所以工艺因素对膜层内部结构产生了影响,使得对薄膜的各种性能产生影响,总结影响如图所示:
2017/11/12
嘉兴蓝特光学有限公司
工艺因素对薄膜性能的影响机理大致为:
一. 基片材料
1. 膨胀系数不同热应力的主要原因;
2. 化学亲和力不同影响膜层附着力和牢固度;
3. 表面粗糙度和缺陷散射的主要来源。
二. 基片清洁
残留在基片表面的污物和清洁剂将导致:
1. 膜层对基片的附着力差;
2. 散射吸收增大抗激光损伤能力差;
3. 透光性能变差。
2017/11/12
嘉兴蓝特光学有限公司

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  • 时间2012-06-24