洁净室守则.doc

洁净室守则(草稿)
人员进入洁净室资格
经过培训被列入名单的CIS检测人员、IQC、IPQC、仓管员、需在洁净室进行晶圆测试的工程师及相关品质工程师可以进入洁净室。其它人员进入洁净室需要得到管理人员的许可方可进入,否则给予一次警告。
下列所述者不能进入洁净室:
①非作业人员或事先未经过培训者;
②未照规定穿着洁净衣者;
③刚做剧烈运动流汗者;
④吸烟或吃东西后,尚未经过半小时以上者;
⑤化妆或涂口红者;
⑥被处以两次警告者;
⑦因哮喘常咳嗽或喷嚏者及不能安静工作者。
在洁净室受控情况下,非名单中人员不得进入洁净室,室内人数已达到控制要求人数时,后来人员不得进入,若确有急事需要进入者,与管理人员协调换出室内人员方可进入,未经管理人员同意擅自进入者,给予一次警告。
进入洁净室前之注意事项
任何人进入洁净室工作或参观,须依规定换穿洁净服,未列入名单者登记进入。
非经实验室主管许可不得将私人物品(手提袋、书籍等)及非洁净室所使用之工具带入洁净室;维修用的手册及工具在用毕后应立即收起。
原料进洁净室时,需先在外面拆箱及拭净,用洁净托盘带入洁净室,不得将包装材料带进洁净室。
洁净室、办公区均为禁烟区,若有吸烟,须于抽后30分钟并漱口后,方可进入洁净室。
剧烈运动后绝对禁止立即进入洁净室,须待呼吸平稳不再流汗后方可进入洁净室。
带进净化间的任何仪器,配件和工具等必须在净化间外预先清洁。
进入洁净室之程序
踏上换鞋区入口地板前,必须先将外鞋脫下。
将外鞋、私人物品置于各人的物品柜中。
进入换衣区换穿洁净服,非名单中人员须登记。
依规定进入风淋室除尘:
风淋室内,不可超过2人同时进入,为避免影响空气正常循环及除尘效果,人员不可倚靠在风淋室的门或墙上,人员必须站立于风淋室中央踏脚板上轻微抖动双手双脚,转动身体以帮助尘埃掉落,风嘴方向正常应是向下吹风,请勿随意摆弄调整好的风嘴方向,以求达到最好的除尘效果。
洁净室内注意事项
在洁净室内禁止抓头、抹脸、搓手,操作时必须使用指套、腕带;
严禁在设备上书写及刻画;
不要在净化实验室使用铅笔和橡皮檫;
在洁净室需使用洁净纸笔;
避免在仪器上使用胶带粘贴纸张;
不可正对晶圆或芯片呼吸及说话;
晶舟的操作:晶舟平时应置于晶舟盒内,不可直接携带晶舟在洁净室中走动;
在洁净室内必须按规定穿好洁净服,不可将衣袖卷起、不可把帽子拿掉、不许脱鞋,头发必须盖在头罩之内,必要时可使用发罩;
应避免非必要的物品滞留于洁净室内,晶圆、芯片测完后应尽速移走;
禁止在洁净室内使用烙铁、锉锯、砂布及修正液。(中测时必须使用的除外);
非必要禁止停留在洁净区域內、勿在洁净室內踏步来回走动。不得在洁净室内饮食、嬉闹、大声喧哗、奔跑、积聚聊天、大动作作业,或从事其它与工作无关的事情。(严禁各种会影响洁净室洁净度的动作及行为)
离开洁净室之程序
离开洁净室时