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掺镓品质控制总结
第一部分 长晶控制要求
一、镓的称量、装料、电阻率预掺杂规范
1、镓的称量
：镓的进检工作由品管进检进行，要求供
应商提供品质合格的报告书，由进检登记保存。
℃，称量作业需要在恒温室内
（<26℃）进行，进行称量作业前，需要佩戴口罩、防
护手套等防护用品；
，然后用吸管把液态的
镓滴入保鲜塑料袋内进行称量，称量仪器为电子天平
，每个炉次的镓配送重量要与理论计算的值保持小数
点后2位数字一致，称量作业过程中要严格避免对镓产
生污染，称量完毕及时拧上镓瓶的瓶盖，放在指定场
所。
2、镓的中转
当户外温度>30℃时，在转移镓的过程中，需要使用
恒温装置配送。
3、预掺杂
在装硅料到一半时，装入称好的高纯镓，由于剂量很
少，需要确保镓全部投入到炉内并且避免沾污。
4、当工艺变更需要补掺时，根据吊小肩测量实际电阻率
和目标电阻率进行判定，头部目标电阻率设为
。若需要补掺，则放边缘翘起形状的肩，将
计算需要补掺的镓掺入。
二、掺镓晶棒长晶工序管控
掺镓晶棒长晶工序注意事项和工艺要求如下：
1、工艺卫生：长晶车间依据《单晶炉作业规程》和
《工艺卫生管理规程》、《炉台定期煅烧通知》做好
车间环境卫生、炉台卫生、炉室卫生、管道清扫、
石墨件清扫；每长晶满九个炉次需要对单晶炉进行1
次煅烧。
2、设备：上炉次晶体晃动的炉台，停炉必须维修完善
后，才能投入下一炉次生产；优先使用成型碳毡的
炉台。
3、晶体编号：使用掺镓籽晶，在正常晶体编号前加
“G”；操作记录单、随工单等制程产生的记录单、
记录表、点检表上面要加注“镓”章；长晶工序产
生的吊肩料、锅底料、焖炉料、旧籽晶等镓循环料
使用白色周转箱。
4、镓的装入：在装料过程中需要预掺一定量的高纯镓
，在装硅料到一半时，投入称好的高纯镓，由于剂
量很少，需要确保镓全部投入到炉内并且避免沾污。
5、直径要求：6寸单晶直径控制在155±1mm
6、拉晶参数：晶转：8r/min;埚转：6r/min; 等径初始
拉速：-
7、收尾： 6寸晶棒正常收尾---长度为140-160mm且要
收尖尾，形状如“▼”；断棱收尾长度为
140-160mm，也要收尖尾
8、操作记录单：操作人员必须详细准确地填写作业记
录单；拉晶过程有任何异常，则需要记录异常起止
时间，晶体起止长度，尤其是晶体晃动异常，同时
异常状况需要填写在晶棒随工单上。
9、单晶巡检严格按照上述要求进行；
三、掺镓循环料各环节的标识
第二部分 切断—清洗工序  控制要求
一、掺镓单晶划线作业规范
1、头部样片的测试：过程分选科按照头部反切50mm后
，对每天单晶车间所生产的单晶硅棒分车间抽取2根
晶棒取头部样片按照技术要求测试C含量、O含量、
少子寿命和电阻率，并做好相关记录，样片需做退
火处理。
2、尾部样片的测试：每根晶棒都需要测试尾部样片，
样片腐蚀后直接测量C含量、O含量、少子寿命和电
阻率，并做好相关记录，样片不用做退火处理。
3、电阻率：过程分选科如果在测试头尾表皮电阻率时
，发现头部反切50mm后，

，必须对该晶棒进行封存，并通知技术分析并由技
术给出处理方案。
4、分段标识：过程分选作业员把掺镓晶棒从尾部向头
部方向划线，且每隔50mm用箭头指示头部方向；分