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XPS 系统软件操作指南

──MANUAL OF PERKIN ELMER
PHI 5000C ESCA SYTEM




戴维林 编
Edited by Dai Wei-Lin
（复旦大学化学系表面化学实验室）
(Surf. Chem. Lab., Dept. of Chem., Fudan Univ.)
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第一部分 数据采集软件—PHI 系统
§1. 概述：
该系统通过 PC137 数据采集板把 XPS 数据和图谱存进计
算机，支持软件为 PHI 系统。PERKIN ELMER 公司提供了
多种版本的软件，从最初的 DOS 系统软件到如今的
WINDOWS 系统软件。目前最常用的为 版本。
也能使用。该软件功能较强，可进行宽、窄
扫描，多次录谱迭加，并可适应不同的能量分析器，还可在
谱图上定出峰位、半峰宽，并且可进行平滑化、微分等操作。

§2. 软件安装及初始化
将拷有 PHI 软件的软盘插入驱动器，键入命令：
C:>install_A:_C:\phi SCASCD or CMASCD or SCAMCD↵
其中，_代表空格；A: 指源程序盘；C:\phi 为安装后的子目
录；SCASCD、 CMASCD 和 SCAMCD 分别指不同的能量
分析器。
安装后，可通过简单的指令使其窗口化，即可直接在
WINDOWS 下用鼠标来操作。
下面主要讲一些 的具体格式化过程：
进入 PHI 后，屏幕上为一排指令，FILE、CONTROL、
PARMS、DATA 和 WINDOW。首先键击 CONTROL 进入
CONFIGURE。选择所需的指令，如本实验室的各项指令为：
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SCA/SCD 、 MODEL80-365A 、 MODEL137 TIMER 、
EXTENTED（LENS TYPE）。然后储存这些参数（用 SAVE
指令）。再键击 FILE，击 OPEN，查看 C:\phi 下各 •PHI 文
件。
1) 将 MODEL 137 COUNTER 文件中 INPUT SELECT 置于
ECL IN 1[PC]，COUNT UP/DOWN 置于 UP 。
2)将 SCA CONTROL、MODEL 80-365 A 内各项进行更改 。
WORK FUNCTION（功函数）置于测定值（用 Ag、Au
或 Cu 定标），DRLL PORT TYPE 置于 MODEL 137，
MULTIPLIER（VOLTS）置于测定值（这在 EMS 条下会作
解释），LENS 3 MODE 置于 XPS MODE，别的条目最好不
要动。
3) 将 SCASCD 中，各项设置成：FIXED ANALYZE
TRANSMISION，WORK FUNCTION 修改为所测值，PASS
ENERGY 置于所需值，一般为 ，对信号弱的可置于
或 。MULTIPLIER 按（2）修改。LENS 3 MODE
为 XPS ， WORKING DISTANCE 置于 INCHES,
SOURCE SELECTION 置于 SOURCE#1，ANODE 可选 Mg
（#1）或 Al（#2）。
4) 将 SCAXPSR 中各项设置成所需的条件，如