毕业论文-微电子工业洁净厂房的设计探讨.pdf

东南大学
硕士学位论文
微电子工业洁净厂房的设计探讨
姓名：汪小霞
申请学位级别：硕士
专业：热能工程
指导教师：雎刚;周晓伟
20060301
了采用布置灵活的刖送风方式，该方式解决了传统的送风方式不能适应工艺布局摘要出了更高的要求，微电子工业洁净厂房的设计是一项综合技术，只有充分了解微电子工⒌缱庸ひ到嗑怀Х康呐ㄉ杓啤７治隽司换盏飨低车娜炙头绶绞降奶氐悖通过工程实例具体分析了集中送风系统的设计过程。对于高级别的净化厂房，提出制的新技术，极大降低了造价。对一般空调系统和废气处理也作详细分析。⒌缱庸ひ到嗑怀Х康母潘杓啤Ｌ岢隽烁潘杓频哪谌莺陀ψ⒁獾奈侍狻Ｖ点研究了纯水的制备和输送原理及方法，对纯水制备采用的离子交换技术、反渗透技术、际跫捌涮氐愕冉辛讼晗阜治觥Ｕ攵阅车缱油骞緈疭缱庸ひ到嗑怀Х康钠宥ι杓啤Ｑ芯苛似宥ι杓频闹饕D谌菁胺椒ǎ治滤器和干燥装置。针对某电子网板公司，平板荫罩项目，进行了洁净厂关键词：洁净厂房；微电子工业；暖通；给排水；气体动力微电子工业的飞速发展，推动了洁净室设计技术的发展，同时对洁净室的设计提业洁净厂房的设计特点，做到设计合理，才能做出优秀的项目。论文以微电子工业洁净厂房的设计为研究内容，具有重要的现实意义和很大的研究价值。本文研究重点为微电子工业洁净厂房公用设备专业的设计，主要含以下几个方面：和净化等级要求变化的问题。对于局部超高净化区域，提出了采用微环境控板荫罩项目进行了洁净厂房的给排水设计。了洁净压缩空气系统的结构原理，提出了气体动力设计要根据工艺要求选配合适的过房的气体动力设计．
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研究生签名：釜尘露—一导师签名：困乏＆婆捍期：』堑盟东南大学学位论文独创性声明东南大学学位论文使用授权声明研究生签名：日期：弼怼本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了日东南大学、中国科学技术信息研究所、国家图书馆有权保留本人所送交学位论文的复纸质论文的内容相一致。除在保密期内的保密论文外，允许论文被查阅和借阅，可以公布ǹ论文的全部或部分内容。论文的公布ǹ授权东南大学研究生院办撰写过的研究成果，也不包含为获得东南大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材谢意。印件和电子文档，可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文。本人电子文档的内容和理。
第一章绪论课题背景随着计算机、信息技术的发展，微电子工业的发展已成为世界技术进步的主要支柱。一个国家的科学技术和经济发展实力的重要标志，发达国家把微电子工业作为战略性产业。微电子工业已成为发展最为迅速、竞争最为激烈的产业。近年来，境外微电子工业大规模地向中国大陆转移，主要原因是由于生产成本低，主要应用市场在大陆，产业集群效应等。目前，电子制造业已成为我国国民经济的支柱产业程复杂。微电子产业中的傻缏产业生产工艺向着大尺寸、高密度、高性能、高速度、低功率的技术水平发展。产品的特征尺寸呖不断变小，目前国际上以4淼墓ひ找呀氪笊．4淼墓ひ找芽J冀氪生产，而研究工作已进入纳米阶段，纳米、纳米的器件在实验室已研制成功。微电子工随着生产工艺的不断发展，微电子工业对环境极其配套工程的要求越来越严格，其产品的成品率和可靠性主要取决于材料的纯度和制造环境的洁净度，对洁净技术的要求越来越高。要生产高纯度的产品，就必须达到相应的受控生产环境的空气洁净度等级和相应高纯度的与产品直接接触的超纯水、超纯气体等。洁净厂房设计嗑皇疑杓是洁净技术的重要组成部分，洁净室是指空气悬浮粒子浓度、含菌浓度受控的房间薅ǖ目占，房间占的建造和使用方式要尽可能减少室内引入、产生和滞留粒子等，房间占内其他相关参数如温度、相对湿度和压力按要求控制。洁净生产环境的控制技术也从控制洁净室的空气洁净度扩展到相关工业产品生产过程所涉及的各类工艺介质、化学品、微振动、静电的严格控制。为适应这些要求，洁净室已从一般洁净室形式发展到隧道式洁净室、开放式洁净室衾胱爸谩⑽⒒境等多种形式。洁净厂房的设计是一项相关专业综合完成的设计技术，近年来，随着我国微电子产业的发展，洁净厂房的设计也得到的极大的发展，逐渐形成一些行之有效的设计手段，建设部也编写出国家标准《洁净厂房设计规范》傅冀嗑怀Х康纳杓乒ぷ鳌Ｎ以近二十年来，微电子工业以每年为一台阶的速度迅速地发展。微电子工业已成为衡量之一，年增长率．ィ饷吵隹诘谝唬昙洌倒婺４邮澜绲诰盼簧仙恋谌弧微电子产业的主要特点为超精细加工，生产环境要求高，