现代材料分析方法XPS.ppt

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X射线光电子谱引言
X射线光电子谱(XPS)是重要的表面分析技术之一。它不仅能探测表面的化学组成,而且可以确定各元素的化学状态,因此,在化学、材料科学及表面科学中得以广泛地应用。
。他们发现了内层电子结合能的位移现象,解决了电子能量分析等技术问题,测定了元素周期表中各元素轨道结合能,并成功地应用于许多实际的化学体系。
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KaiSeigbahn:DevelopmentofX-rayPhotoelectronSpectroscopy
NobelPrizeinPhysics1981
(Hisfather,ManneSiegbahn,wontheNobelPrizeinPhysicsin1924
forthedevelopmentofX-rayspectroscopy)
,,105,1676.
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(ElectronSpectroscopyforChemicalAnalysis),简称为“ESCA”,这个名词强调在X射线电子能谱中既有光电子峰也包含了俄歇峰,在分析领域内广泛使用。
随着科学技术的发展,XPS也在不断地完善。目前,已开发出的小面积X射线光电子能谱,大大提高了XPS的空间分辨能力。
X射线光电子谱引言
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XPSX射线光电子谱仪
X射线激发源
样品室
能量分析器
样品引进系统
抽真空系统
电子倍增器
显示、记录
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XPS--X射线光电子谱仪(激发源)
在一般的X射线光电子谱仪中,没有X射线单色器,只是用一很薄(1〜2m)的铝箔窗将样品和激发源分开,以防止X射线源中的散射电子进入样品室,同时可滤去相当部分的轫致辐射所形成的X射线本底。
将X射线用石英晶体的(1010)面沿Bragg反射方向衍射后便可使X射线单色化。X射线的单色性越高,谱仪的能量分辨率也越高。
同步辐射源是十分理想的激发源,具有良好的单色性,且可提供10eV〜10keV连续可调的偏振光。
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N7
N6
N5
N4
N3
N2
N1
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4f7/2
4f5/2
4d5/2
4d3/2
4p3/2
4p1/2
4s1/2
M5
M4
M3
M2
M1
L3
L2
L1
K
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3d5/2
3d3/2
3p3/2
3p1/2
3s1/2
2p3/2
2p1/2
2s1/2
1s1/2
电子能级、X射线能级和电子数
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典型XPS谱
MOCVD制备的HgCdTe膜
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典型XPS谱
Fe的清洁表面
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