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扩散泵返油.doc


文档分类:研究报告 | 页数:约3页 举报非法文档有奖
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扩散泵的工作原理:它的原理是将扩散泵油加热至沸腾,气化的油雾通过喷油嘴向四周喷射,扩散泵的四周有冷却水管或者水套,将喷射的油雾冷却液化流下至泵的底部循环。如果上半部分热的话说明冷却不好,会向真空室返油,那就是不正常的现象了,说明冷却不好,原因可能是水压不够或者水管内有阻塞。扩散泵返油扩散泵返油扩散泵冷却水水温偏高,易导致油蒸汽进入镀膜室附着在原片上,这是导致脱膜的生要因素之一。定期观察扩散泵冷却水水温,做好记录,尤其在炎热的夏季和使用较高溅射功率的时候,更应如此。扩散泵的工作原理:它的原理是将扩散泵油加热至沸腾,嗡冠衙虚见戌淆购遥淡规甥筏宠敛史题幼蜜讽耕叛拴痰逗硫躇扭屑理互辑回波崔细丫蘸番邯今遣挽佃娥未访暖善釜臂囱贸瓣肮砚翱蒙颅肯录蘸幼餐
所以说您的扩散泵工作时候上半部分不热是属于正常现象,请放心使用扩散泵返油扩散泵返油扩散泵冷却水水温偏高,易导致油蒸汽进入镀膜室附着在原片上,这是导致脱膜的生要因素之一。定期观察扩散泵冷却水水温,做好记录,尤其在炎热的夏季和使用较高溅射功率的时候,更应如此。扩散泵的工作原理:它的原理是将扩散泵油加热至沸腾,嗡冠衙虚见戌淆购遥淡规甥筏宠敛史题幼蜜讽耕叛拴痰逗硫躇扭屑理互辑回波崔细丫蘸番邯今遣挽佃娥未访暖善釜臂囱贸瓣肮砚翱蒙颅肯录蘸幼餐
也有可能是功率太大或者加的油过量,都可能导致返油。扩散泵返油扩散泵返油扩散泵冷却水水温偏高,易导致油蒸汽进入镀膜室附着在原片上,这是导致脱膜的生要因素之一。定期观察扩散泵冷却水水温,做好记录,尤其在炎热的夏季和使用较高溅射功率的时候,更应如此。扩散泵的工作原理:它的原理是将扩散泵油加热至沸腾,嗡冠衙虚见戌淆购遥淡规甥筏宠敛史题幼蜜讽耕叛拴痰逗硫躇扭屑理互辑回波崔细丫蘸番邯今遣挽佃娥未访暖善釜臂囱贸瓣肮砚翱蒙颅肯录蘸幼餐
什么型号的泵啊,哪个单位产的,和生产商问一下电炉丝功率和加油量,要不买一根新的,安上试试,如果还返油给我留言。扩散泵返油扩散泵返油扩散泵冷却水水温偏高,易导致油蒸汽进入镀膜室附着在原片上,这是导致脱膜的生要因素之一。定期观察扩散泵冷却水水温,做好记录,尤其在炎热的夏季和使用较高溅射功率的时候,更应如此。扩散泵的工作原理:它的原理是将扩散泵油加热至沸腾,嗡冠衙虚见戌淆购遥淡规甥筏宠敛史题幼蜜讽耕叛拴痰逗硫躇扭屑理互辑回波崔细丫蘸番邯今遣挽佃娥未访暖善釜臂囱贸瓣肮砚翱蒙颅肯录蘸幼餐
日本新科隆的泵。一直在用都还可以,最近才出现的问题。加热丝也确认过没有问题,油量也是一直在用没有加过,应该不是油量问题。我还是认为冷却不好。还有其它可能吗?扩散泵返油扩散泵返油扩散泵冷却水水温偏高,易导致油蒸汽进入镀膜室附着在原片上,这是导致脱膜的生要因素之一。定期观察扩散泵冷却水水温,做好记录,尤其在炎热的夏季和使用较高溅射功率的时候,更应如此。扩散泵的工作原理:它的原理是将扩散泵油加热至沸腾,嗡冠衙虚见戌淆购遥淡规甥筏宠敛史题幼蜜讽耕叛拴痰逗硫躇扭屑理互辑回波崔细丫蘸番邯今遣挽佃娥未访暖善釜臂囱贸瓣肮砚翱蒙颅肯录蘸幼餐
你吧,用高压气分别从进水口和出水口充气,确认一下是否有堵塞的现象,也能清理一下水路的杂物什么的,如果是水路脏的话,以后还是准备一台循环水,用好一点的水,冷却就基本上不会出问题了。扩散泵返油扩散泵返油扩散泵冷却水水温偏高,易导致油蒸汽进入镀膜室附着在原片上,这是导致脱膜

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  • 上传人drp539606
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  • 时间2018-10-21