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一种可切换电阻式探针卡的制作方法
一种可切换电阻式探针卡的制作方法
本发明的可切换电阻式探针卡，包括多个探针，若干电路走线单元，每个电路走线单元具有多个支路、以及位于支路上的可更换电阻；切换装置，用于在电路走线单元中的各个支路之间进行切制单元，从而实现了在测试时，自由的选择与更换电阻，并且避免了重复大量测试对电阻造成的污染，不仅使得测试更加便利，还提高了测试精度，并且在一定程度上实现了测试的自动化。
【专利附图】
【附图说明】
[0021]图1为现有的探针卡的示意图
[0022]图2为现有的不带电阻的探针卡的示意图
[0023]图3为现有的每根针串接电阻的探针卡示意图
[0024]图4为本发明的可切换式探针卡的方块图
[0025]图5为探针卡的内部电路示意图
[0026]图6为本发明的一个较佳实施例的探针卡的示意图
[0027]图7为本发明的一个较佳实施例的探针卡装上电阻后的示意图
【具体实施方式】
[0028]为使本发明的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本发明的内容作进一步说明。当然本发明并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本发明的保护范围内。
[0029]如前所述，现有的主流使用的探针卡中，通常为不带电阻的探针卡和带有电阻的探针卡，在测试之前，需要在这两种探针卡之间进行购买和选择，增加了使用成本和测试的不便利性；虽然有人设计出可切换式探针卡，但是由于不能够进行电阻的更换，并且大量频繁测试过程会对电阻造成污染，降低测试精度；为此，本发明对现有的探针卡作了改进，在实现可选择切换有无电阻支路的前提下，可以根据实际需要更换不同的电阻，并且，可以避免大量频繁测试对电阻造成的污染，提高测试精度；进一步地，设计相关控制单元，实现测试的自动化。
[0030]以下将结合附图4-7以及具体实施例对本发明的可切换电阻式探针卡作详细说明。其中，图4为本发明的可切换式探针卡的方块图，图5为探针卡的内部电路示意图，图6为本发明的一个较佳实施例的探针卡的示意图，图7为本发明的一个较佳实施例的探针卡装上电阻后的示意图。需说明的是，附图均采用非常简化的形式、使用非精准的比例，且仅用以方便、清晰地达到辅助说明本实施例的目的。
[0031]本发明的可切换电阻式探针卡，包括:多个探针，用于连接被测试结构和测试机台；请参阅图4，本发明的可切换电阻式探针卡还包括:
[0032]若干电路走线单元101，位于探针卡背面，一端与探针相连接，另一端用于连接测试机台；其中，每个电路走线单元具有多个支路、以及位于支路上的可更换电阻；
[0033]若干切换装置102，每个切换装置的一端与电路走线单元相连接，另一端可选择地与相同的电路走线单元中的支路相连接；用于在相同的电路走线单元中的各个支路之间进行切换；这样，通过在不接电阻、连接不通电阻的支路之间进行切换，从而使探针连接不通的电阻支路；在本发明的一个较佳实施例中，为了便于控制切换装置，探针卡具有切换装置容纳槽，将切换装置放置其中；在本发明的一个较佳实施例中，切换装置可以为电阻切换开关或单刀多掷开关。如图5所示，为探针卡的内部电路示意图，图中，201表示电阻切换开关，虚线表示电阻切换开关201可摆动的位置，202表示一条支路上的可更换电阻。
[0034]若干电阻容纳装置103，位