悬臂式高频探针卡的制作方法.docx

悬臂式高频探针卡的制作方法
悬臂式高频探针卡的制作方法
一种悬臂式高频探针卡设置于检测机以及待测电子对象之间，且包含一载板、一针座、二探针及一电路板。其中，该载板具有一第一面及一第二面，且该第一面朝向该检测机，而该第二面则朝向该待测电子，该针座设于该载板上，且以绝缘材料制成；所述探针以导电材料
制成；各该探针具有相连接一悬臂段与一针尖段，该悬臂段与该针座连接，而该针尖段则用以点触该待测电子对象的待测部位；该电传输件具有多个信号传输电路电性连接各该探针；该回馈元件设于该电路板上，且电性连接所述信号传输电路；由此，当该待测电子对象产生高频的检测信号而传导至其中一该探针时，高频的检测信号经过该电传输件的信号传输电路以及该回馈元件而传导至另一该探针，进而回流至该待测电子对象。
[0014]依据上述构思，各该探针的悬臂段具有相连接的一第一区段及一第二区段，该第一区段与该针尖段连接，并外露于该针座外部，且与该电传输件的信号传输电路连接；该第二区段则设置于该针座中。
[0015]依据上述构思，各该探针的悬臂段具有相连接的一第一区段及一第二区段，该第一区段与该针尖段连接，且外露于该针座外部；该第二区段则埋设于该针座中，且与该电传输件的信号传输电路连接。
[0016]依据上述构思，该针座具有一第一侧面以及一第二侧面，且该第一侧面背向该第二侧面；各该探针的悬臂段具有相连接的一第一区段、一第二区段以及一第三区段，该第一区段与该针尖段连接，且外露于该针座的第一侧面处；该第二区段则埋设于该针座中；该第三区段外露于该针座的第二侧面处，且与该电传输件的信号传输电路连接。
[0017]依据上述构思，该电传输件与该回馈元件埋设于该针座中。
[0018]依据上述构思，该电传输件是与该载板连接。
[0019]依据上述构思，还包含有二电感性元件，且所述电感性元件一端分别电性连接所述探针的悬臂段，而另一端则电性连接至一检测机；当该检测机产生低频或直流的检测信号时，通过其中一该电感性元件而传导至其中一该探针，而输出至该待测物，而后，由另一该探针接收并传导至另外一该电感性元件，进而回流至该检测机。
[0020]依据上述构思,该电感性元件为扼流圈(choke)。
[0021 ] 如此一来，通过上述的设计，便可有效地传输高频测试信号。
【专利附图】
【附图说明】
[0022]为能更清楚地说明本发明，以下结合较佳实施例并配合附图详细说明如后，其中:
[0023]图1是本发明第一较佳实施例的结构图。
[0024]图2是本发明第二较佳实施例的结构图。
[0025]图3是本发明第三较佳实施例的结构图。
[0026]图4是本发明第四较佳实施例的结构图。
[0027]图5是本发明第五较佳实施例的结构图。
[0028]图6是本发明第五较佳实施例的波型衰减图。
[0029]图7是本发明第六较佳实施例的结构图。
[0030]图8是本发明第七较佳实施例的结构图。
[0031]图9是本发明第八较佳实施例的结构图。
[0032]图10是本发明第九较佳实施例的结构图。
[0033]图11是本发明第十较佳实施例的结构图。
【具体实施方式】
[0034]请参图1所示，本发明第一较佳实施例的悬臂