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探针卡的制作方法
探针卡的制作方法
本发明公开了一种探针卡，其包括探针、电路板和连接装置；其中，所述电路板的中央设有窗口和测试电路，所述测试电路包括包含电阻的第一电路通道以及不含电阻的第二电路通道；所述连接装置设于所述电路板窗口处，所述段上设置的固定孔的数量根据实际需求决定。
[0019]在本发明一个较为优选的实施例中，所述的探针卡的中设有不多于48根探针，对应所述测试电路上48个信号传输电路通道，其中所述的探针还可为小于24个信号传输电路通道。
[0020]在本发明一个较为优选的实施例中，所述的探针可随着连接装置的旋转或移动而移动，所述的探针卡通过旋转或移动，实现切换电路板的测试电路中包含电阻的电路通道或不含电阻的电路通道。
[0021]在本发明一个较为优选的实施例中，所述的电阻的电阻值不受限制，可根据采用探针卡测试的工艺需要进行调整。
[0022]在本发明一个较为优选的实施例中,所述连接装置可顺时针或逆时针旋转90°或旋转180° ；
[0023]所述连接装置移动可为向上、向下、向左或向右移动，移动的范围由实际的测试需求决定。
[0024]在本发明一个较为优选的实施例中，在所述连接装置上，所述的连接装置的外侧设有等距分布的连接口 ；优选地，上述的连接口可设于所述连接装置外侧的任一个方位。
[0025]所述第一电路通道上设有若干个电路通道，其中，第一电路通道上的电路通道优选为小于或等于24个，如24个、18个、12个、6个等等。
[0026]所述第二电路通道上设有若干个电路通道，其中，第二电路通道上的电路通道优选为小于或等于24个，如24个、18个、12个、6个等等。
[0027]所述的连接装置上设有等距分布的连接口，所述的连接装置的连接口与所述第一电路通道或第二电路通道中的电路通道一一对应连接。
[0028]在本发明一个较为优选的实施例中，所述的第一电路通道与第二电路通道中所含的电路通道的数量相等，且位于电路板相对的位置上。
[0029]在本发明一个较为优选的实施例中，所述的连接装置与探针连接的另一端上设有等距分布的连接口，所述的连接口与电路板上的电路通道连接，从而形成一个整体的回路，实现测试操作。
[0030]本发明所述的探针卡与现有的探针卡相比，将含有包含电阻的电路通道与不含电阻的电路通道汇集于同一个电路板上，既同时满足不同测试的需求，使晶圆测试操作简单，又能减少生产成本。
【专利附图】
【附图说明】
[0031]图1为现有技术中不含电阻的电路通道的示意图；
[0032]图2为现有技术中包含电阻的电路通道的示意图；
[0033]图3为本发明实施例中探针卡示意图；
[0034]图4为本发明实施例中含有24个探针的探针卡电路板测试电路旋转切换至包含电阻线路的等效电路图；
[0035]图5为本发明实施例中含有24个探针的探针卡电路板测试电路旋转切换至不含电阻线路的等效电路图；
[0036]图6为本发明实施例中含有48个探针的探针卡电路板测试电路旋转切换至包含电阻线路的等效电路图；
[0037]图7为本发明实施例中含有48个探针的探针卡电路板测试电路旋转切换至不含电阻线路的等效电路图。
具体实施例
[0038]下面结合附图和具体实施例对本发明做进一步说明，但不作为本发明的限定。
[0039]本发明实