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探针卡扎针次数计数装置及探针卡的制作方法
专利名称：探针卡扎针次数计数装置及探针卡的制作方法
技术领域：
探针卡扎针次数计数装置及探针卡
技术领域：
本实用新型涉及半导体工业中的测试技术，特别是涉及一种探针卡扎针次数计数 装置，还，并进行计数。可以是接收到一对上升、 下降信号就加1，也可以是接收到一个上升(或下降)信号就加1。由于吸盘每上升(或下 降)一次晶圆与探针卡就会进行一次接触，即扎针一次。所以计数模块220记录的数据就 是探针卡的扎针次数。记录的数据送入显示模块230，当达到事先设定的需要对探针卡进行 维护的扎针次数(在优选的实施例中为每300000次)，即报警阈值时，计数模块220对报警 模块240发出报警指令。显示模块230接收计数模块220记录的数据并进行显示。在优选的实施例中，显 示模块230可以采用液晶模组进行显示，以获得较小的体积；在其他实施例中也可以采用 数码管或其他方式进行显示。在优选的实施例中，显示模块230可以只提供6位数的显示功能，即最大为999999，这样可以节省成本(不光是显示模块230的成本，还包括涉及存储 或缓存计数模块220记录的数据的存储单元成本，这些存储单元只要能存储大于999999的 数便可，所以成本便可相应减少)。因为用户关心的最主要问题是何时该对探针卡进行维 护保养，所以显示模块230能够显示的位数仅需满足探针卡两次维护之间的扎针次数便可 (也就是计数模块220记录的位数能大于探针卡两次维护之间的扎针次数便可)。当然，显 示模块230也可以采用能显示更多位数的部件，记录探针卡整个寿命中扎针的次数。报警模块240接收计数模块220发出的报警指令进行报警，提醒操作员探针卡需 要维护了。报警模块240还包括复位键，用于取消报警。输入模块250用于设定报警阈值。输入模块250还具备对计数模块220清零的功 能。在优选的实施例中，清零可以是达到报警阈值后自动进行。图3是另一个实施例中探针卡扎针次数计数装置的结构示意图。在这个实施例 中，探针卡扎针次数计数装置200包括接口 210、计数模块220、显示模块230、报警模块 240。计数模块220与接口 210、显示模块230、报警模块240均相连接。其与上一个实施例的主要区别在于，报警模块240自带设置报警阈值的功能，计 数模块220亦自带清零的功能。并且计数模块220不用于发送报警指令，而是将记录的数 据传输给报警模块240，由报警模块240根据报警阈值来进行是否报警的判断。上述装置统计出的扎针次数为估算成本提供了科学依据。例如一块探针卡的总扎 针次数是1000万次，探针卡价格为4万圆，在某片圆片的测试中扎针次数为1万次，则在这 片圆片上摊负的探针卡的折旧费为40000*10000/10000000 = 40圆。上述探针卡扎针次数计数装置既可以采用“外挂式”，即做成一个独立的装置；也 可以做成“嵌入式”，即集成在探针卡上。“外挂式”方案通用性强，适用于不同种类的探针 台和探针卡，且可以反复多次使用。而“嵌入式”方案比较适合探针卡的生产厂家，集成了 上述探针卡扎针次数计数装置的探针卡，增加了产品的易用性且功能更强大，提高了探针 卡的附加价值。图4是一个实施例中集成了探针卡扎针次数计数装置的探针卡的示意图。探针卡 300包括探针卡与测试机的测试接口 31