具有射频识别装置的探针卡的制作方法.docx

具有射频识别装置的探针卡的制作方法
具有射频识别装置的探针卡的制作方法
一种具有射频识别装置的探针卡，包括：探针卡板，用于承载所述功能测试端子；测试端子，设置在所述探针卡板的圆周边沿；探针引脚，设置在所述测试端子之内圈，并在所述探针引脚具有射频识别装置的探针卡的制作方法
具有射频识别装置的探针卡的制作方法
一种具有射频识别装置的探针卡，包括：探针卡板，用于承载所述功能测试端子；测试端子，设置在所述探针卡板的圆周边沿；探针引脚，设置在所述测试端子之内圈，并在所述探针引脚内形成所述装载区；射频识别装置，装置固定设置在所述装载区上。本发明通过在所述探针引脚内设置用于固定所述射频识别装置的装载区，并采用射频识别芯片作为所述射频识别装置，不仅外观小巧、携带便利，而且在所述具有射频识别装置的探针卡检修过程中无需拆卸，避免因拆卸导致的人为疏忽。
【专利说明】具有射频识别装置的探针卡
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体器件测试【技术领域】，尤其涉及一种具有射频识别装置的探针卡。
【背景技术】
[0002]目前，晶圆可接受测试(Wafer Accepted Test, WAT)过程中所使用的探针卡种类繁多，不同产品使用不同类型的探针卡。为了识别所述探针卡，通常地，在所述探针卡上设置射频识别(Radio Frequency Identification, FRID)装置。
[0003]但是，现有的射频识别装置结构较大，并设置在所述探针卡具有导线引出的边缘部位，限制了所述探针卡的适用性。同时，由于所述射频识别装置占用空间较大，当所述探针卡需检修时，通常先卸载所述射频识别装置，之后重新安装。然而，在所述探针卡检修过后，由于人为疏忽，时常造成不同类型的射频识别装置混淆，难以区别；或者忘记安装；或者安装后在转移过程中脱落。
[0004]故针对现有技术存在的问题，本案设计人凭借从事此行业多年的经验，积极研究改良，于是有了本发明一种具有射频识别装置的探针卡。
【发明内容】
[0005]本发明是针对现有技术中，所述传统的探针卡检修过后，由于人为疏忽，时常造成不同类型的射频识别装置混淆，难以区别；或者忘记安装；或者安装后在转移过程中脱落等缺陷提供一种具有射频识别装置的探针卡。
[0006]为实现本发明之目的，本发明提供一种具有射频识别装置的探针卡，所述具有射频识别装置的探针卡包括:探针卡板，所述探针卡板用于承载所述功能测试端子；测试端子，所述测试端子分布设置在所述探针卡板的圆周边沿；探针引脚，所述探针引脚设置在所述测试端子之内圈，并在所述探针引脚内形成所述装载区；射频识别装置，所述射频识别装置固定设置在所述装载区上。
[0007]可选地，所述具有射频识别装置的探针卡之装载区内设置射频识别装置之容置空间，并将所述射频识别装置固定设置在所述装载区之容置空间内。
[0008]可选地，所述射频识别装置为射频识别芯片。
[0009]可选地，所述射频识别装置的大小可根据所述装载区之容置空间的大小进行设计。
[0010]可选地，所述装载区无弓丨线导出。
[0011]综上所述，本发明通过在所述探针引脚内设置用于固定所述射频识别装置的装载区，并采用射频识别芯片作为所述射频识别装置，不仅外观小巧、携带便利，而且在所述具有射频识别装置的探针卡检修过程中无需拆卸，